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2020-4-3 14:20:07
先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的卓越晶圓清洗設(shè)備供應(yīng)商——盛美半導(dǎo)體設(shè)備（納斯達(dá)克：ACMR），本周發(fā)布了立式爐設(shè)備（Ultra Furnace）——公司首臺(tái)為多種干法工藝應(yīng)用開(kāi)發(fā)的系統(tǒng)。公司研發(fā)的首臺(tái)立式爐設(shè)備優(yōu)化后可實(shí)現(xiàn)高性能低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD），同時(shí)該設(shè)備平臺(tái)還可延伸至氧化和退火，以及原子層沉積(ALD)等應(yīng)用。此次的立式爐設(shè)備也展現(xiàn)了盛美中國(guó)和韓國(guó)研發(fā)團(tuán)隊(duì)為時(shí)兩年的合作成果。
“先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)帶來(lái)了持續(xù)的挑戰(zhàn)，這就要求設(shè)備供應(yīng)商進(jìn)行創(chuàng)新，而這種市場(chǎng)環(huán)境給盛美提供了重要的機(jī)會(huì)。” 盛美半導(dǎo)體設(shè)備董事長(zhǎng)王暉表示：“不斷創(chuàng)新是盛美的DNA。我們發(fā)現(xiàn)了一個(gè)可以從我們的技術(shù)中獲益的市場(chǎng)需求，我們就將我們的技術(shù)延伸至該新細(xì)分市場(chǎng)，在盛美已建立的濕法工藝產(chǎn)品系列上增加了Ultra Furnace立式爐產(chǎn)品系列，通過(guò)為客戶的先進(jìn)產(chǎn)品提供整體解決方案，同時(shí)也增加了我們的市場(chǎng)機(jī)遇。”
“Ultra Furnace立式爐產(chǎn)品是由我們中韓兩國(guó)的專家團(tuán)隊(duì)合作開(kāi)發(fā)差異化技術(shù)的成果。”盛美半導(dǎo)體韓國(guó)公司首席執(zhí)行官金泳律說(shuō)：“盛美韓國(guó)團(tuán)隊(duì)的成立讓我們優(yōu)秀的上海團(tuán)隊(duì)如虎添翼，加快了我們進(jìn)軍市場(chǎng)的速度，并為本土客戶提供出色的技術(shù)支持。”
沉積工藝是指，在高溫下化學(xué)氣體在晶圓表面上反應(yīng)形成氧化硅或者氮化硅膜層。Ultra Furnace立式爐系統(tǒng)可用于批量處理多至100片12英寸（300毫米）晶圓。創(chuàng)新的系統(tǒng)設(shè)計(jì)使用了新開(kāi)發(fā)的硬件，提高了耐用性，同時(shí)搭載了盛美成熟的軟件技術(shù)、自研的控制系統(tǒng)和算法。這些特點(diǎn)保證了設(shè)備能穩(wěn)定地控制制程壓力、氣體流量和溫度。
目前盛美Ultra Furnace立式爐主要面向LPCVD工藝市場(chǎng)，后續(xù)只需對(duì)其組件和布局進(jìn)行一些局部變更，就可滿足其它目標(biāo)應(yīng)用需求。85%左右的硬件配置可保持不變，所以面向新應(yīng)用的變動(dòng)可有效地實(shí)現(xiàn)。
盛美半導(dǎo)體Ultra Furnace立式爐目標(biāo)市場(chǎng)以中國(guó)大陸為起點(diǎn)，逐步向韓國(guó)和中國(guó)臺(tái)灣市場(chǎng)推進(jìn)。盛美已于2020年初，向中國(guó)一家重要的邏輯客戶的制造工廠交付了公司產(chǎn)研的第一臺(tái)Ultra Furnace。該設(shè)備用于LPCVD，目前已經(jīng)在客戶端安裝并進(jìn)行驗(yàn)證。
