盛美上海獲得歐洲一家全球性半導(dǎo)體制造商的單片SAPS兆聲波清洗設(shè)備采購(gòu)訂單
2023-2-25 11:10:00
盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“盛美上海”)（科創(chuàng)板股票代碼：688082），作為一家為半導(dǎo)體前道和先進(jìn)晶圓級(jí)封裝應(yīng)用提供晶圓工藝解決方案的卓越設(shè)備供應(yīng)商，今日宣布獲得來(lái)自歐洲一家全球性半導(dǎo)體制造商的首個(gè)12腔單片SAPS 兆聲波清洗設(shè)備訂單。該設(shè)備配置了公司自主研發(fā)的半導(dǎo)體襯底的清洗方法和裝置(中國(guó)發(fā)明專利;專利號(hào):ZL 2009 1 0050834.2)，預(yù)計(jì)將于2023年第四季度交付至該客戶的歐洲工廠。
盛美上海董事長(zhǎng)王暉博士表示：“盛美上海在成為全球主要半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)供應(yīng)商的道路上取得了進(jìn)一步進(jìn)展，對(duì)此我們倍感自豪。隨著我們?cè)谥袊?guó)大陸的業(yè)務(wù)規(guī)模逐漸擴(kuò)大，美國(guó)主要制造商的評(píng)估也在同時(shí)進(jìn)行，SAPS技術(shù)也已開(kāi)始在歐洲市場(chǎng)贏得吸引力。本次獲得該設(shè)備的歐洲首單是對(duì)我們技術(shù)實(shí)力以及銷售團(tuán)隊(duì)努力與付出的有力證明。我們相信，本次成功將為我們帶來(lái)該客戶的重復(fù)訂單，以及與該地區(qū)其他重點(diǎn)客戶新的合作機(jī)會(huì)。”
關(guān)于單片SAPS 兆聲波清洗設(shè)備
盛美上海擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的空間交變相位移 (SAPS)先進(jìn)晶圓清洗技術(shù)運(yùn)用了兆聲波的交替相位變化以控制兆聲波發(fā)生器與晶圓之間的間距。與傳統(tǒng)的兆聲波晶圓清洗系統(tǒng)中使用的固定式兆聲波發(fā)生器不同，使用SAPS技術(shù)后，晶圓旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過(guò)控制兆聲波發(fā)生器與晶圓之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，即使晶圓有翹曲，也能使晶圓上的所有點(diǎn)都獲得均勻的兆聲波能量。SAPS工藝的清洗效率比傳統(tǒng)兆聲波清洗工藝高，不會(huì)造成額外的材料損耗，同時(shí)還能減少晶圓表面的損傷。SAPS工藝清洗效果更加徹底、全面，并且已在1xnm 及以下DRAM制造上獲得驗(yàn)證。
