盛美上海推出全新升級(jí)版先進(jìn)封裝用涂膠設(shè)備，性能更卓越
2022-5-27 9:51:50
封裝測(cè)試作為IC產(chǎn)業(yè)鏈重要一環(huán)，與芯片設(shè)計(jì)、制造并舉，2021年全球封裝市場(chǎng)規(guī)模約達(dá)777億美元，并且先進(jìn)封裝市場(chǎng)將持續(xù)上揚(yáng)，據(jù)Yole1統(tǒng)計(jì)，2021年先進(jìn)封裝市場(chǎng)規(guī)模為321億美元，預(yù)期將以10%的年均復(fù)合增長(zhǎng)率發(fā)展，至2027年可達(dá)572億美元。在摩爾定律趨近工藝極限之時(shí)，業(yè)界發(fā)現(xiàn)了先進(jìn)封裝的可能性，由平面化到三維架構(gòu)，先進(jìn)晶圓級(jí)封裝對(duì)芯片性能的提升，給予了上下游產(chǎn)業(yè)更多的空間。
盛美上海在該領(lǐng)域有多年經(jīng)驗(yàn)，可成套定制、高端濕法晶圓工藝設(shè)備，以支持實(shí)現(xiàn)銅（Cu）柱和金（Au）凸塊等先進(jìn)晶圓級(jí)封裝工藝，以及硅通孔（TSV）、扇出（Fan-out）及小芯片等工藝。產(chǎn)品可覆蓋完整的工藝流程，包括清洗、涂膠、顯影、電鍍、平坦化電拋光、光刻膠去除及濕法蝕刻等。年初以來(lái)盛美上海已多次收到先進(jìn)封裝清洗設(shè)備的采購(gòu)訂單，及電鍍?cè)O(shè)備的批量訂單，最近又推出升級(jí)版的涂膠設(shè)備，該款設(shè)備在性能和外觀進(jìn)行了優(yōu)化，應(yīng)用于先進(jìn)晶圓級(jí)封裝。
該涂膠設(shè)備兼容200mm和300mm晶圓，可執(zhí)行晶圓級(jí)封裝光刻工藝的關(guān)鍵步驟，如光刻膠和Polyimide涂布、軟烤；還可利用創(chuàng)新性方法和精準(zhǔn)的涂膠控制，實(shí)現(xiàn)精確的阻擋邊緣清除效果。涂膠腔內(nèi)采用了盛美上海專有的全方位無(wú)死角自動(dòng)清洗技術(shù)，可以縮短設(shè)備預(yù)防性維護(hù)（PM）的時(shí)間，尤其是針對(duì)光刻膠厚度較高（甚至超過(guò) 100µm）的涂膠應(yīng)用。
（舊款機(jī)臺(tái)尺寸：寬2550mm長(zhǎng)2150mm 高2650mm，新款機(jī)臺(tái)尺寸：寬2150mm長(zhǎng)1800mm 高2650mm，占地面積減少30%）
設(shè)計(jì)升級(jí)后的涂膠設(shè)備整體尺寸減小，內(nèi)部空間更為緊湊，相比舊款機(jī)臺(tái)，占地面積減少30%，高效利用廠房空間。同時(shí)對(duì)稱式分布的整體設(shè)計(jì)，Loadport改為雙開門的設(shè)計(jì)，使設(shè)備更美觀。該設(shè)備性能上也有所升級(jí)，可選配腔體自動(dòng)清洗功能，能夠減少定期維修次數(shù)及時(shí)間，同時(shí)可提供無(wú)腔體自動(dòng)清洗功能的簡(jiǎn)化版供客戶選擇。在腔體設(shè)計(jì)中，將兩個(gè)單獨(dú)腔體合二為一，使整體空間更為緊湊，同時(shí)采用完全密封設(shè)計(jì)，可避免工藝過(guò)程中使用的藥液影響外部環(huán)境。該設(shè)備8/12寸晶圓傳輸系統(tǒng)的自動(dòng)識(shí)別設(shè)計(jì)，可避免晶圓尺寸與腔體配置不符時(shí)造成碎片情況的發(fā)生，有效減少因人為誤操作造成的損失。值得一提的是，該涂膠設(shè)備還升級(jí)了熱板的結(jié)構(gòu)，在腔體結(jié)構(gòu)緊湊的前提下，新設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)熱板抽屜式抽出，方便維修及更換，同時(shí)創(chuàng)新的定位設(shè)計(jì)可保證熱板反復(fù)抽出后精確復(fù)位，有效保障工序運(yùn)行。
繼成立小芯片聯(lián)盟后，英特爾、臺(tái)積電和三星等芯片制造巨頭加大布局先進(jìn)封裝領(lǐng)域。國(guó)內(nèi)封測(cè)廠商擴(kuò)張先進(jìn)封裝產(chǎn)能，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)程加速，盛美上海今年客戶需求依然旺盛，公司訂單保持強(qiáng)勁，產(chǎn)能擴(kuò)張計(jì)劃推進(jìn)順利。此次全新升級(jí)的涂膠設(shè)備自推出以來(lái)已獲得不同客戶的多臺(tái)訂單，有助于獲得更多目標(biāo)市場(chǎng)份額，增加了盛美上海濕法成套設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)力，為客戶提供一站式服務(wù)。
數(shù)據(jù)來(lái)源：
1. www.eet-china.com/mp/a129819.html
